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高性能（準HEPAフィルター）及び超高性能フィルター（HEPAフィルター）
（対象は0.3μｍ 99.97%以上）
超々高性能（ULPA）
HEPAフィルターより更に細かい粉塵を除去しており、主に半導体関連のクリーンルームにお使い頂いております。
（対象は0.1μｍ 99.999%以上） |
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耐熱フィルターは、様々な用途に応じて色々なバリエーションが考えられます。
選定基準は？
| 1.捕集効率 |
（90% at0.5μｍ・99.97% at0.3μｍ） |
| 2.耐熱温度 |
（常時、何度で使用されますか？80℃〜最高使用温度500℃） |
| 3.処理風量 |
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| 例）HEPAフィルターの場合 |
| 効 率： |
99.97% at0.3μｍ |
| 耐熱温度： |
常時250℃使用 |
| 処理風量： |
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